Onderzoekers van het Energy's Los Alamos Laboratory hebben een nieuwe methode ontwikkeld waarmee chips milieuvriendelijker gemaakt kunnen worden. Bij de methode die momenteel wordt gebruikt komen er dagelijks bij de gemiddelde chipfabriek miljoenen liters afvalwater vrij en worden er duizenden liters gevaarlijke stoffen gebruikt. Hoewel je dit misschien niet zal verwachten als je denkt aan al die mooie foto’s met mannen in cleanrooms, is het een noodzakelijk kwaad om overbodig materiaal op chips kwijt te raken.
De nieuwe technologie die de naam SCORR draagt maakt gebruik van carbondioxide onder hoge temperatuur en druk. De stof wordt daarmee in een fase gebracht die tussen vloeibaar en gas inzit waardoor het de eigenschappen krijgt van beide fases. Hiermee is het mogelijk om samen met kleine hoeveelheden zuur afvalmateriaal effectief weg te werken. Volgens de onderzoekers een mooie technologie: niet alleen goed voor het milieu, maar ook handig voor chipbakkers met gelimiteerde hoeveelheden water:
This photoresist removal technology produces virtually no hazardous waste. It is designed as a 'closed loop' system that reuses carbon dioxide in the process, adding no greenhouse gas to the atmosphere. Also, because of the low vapour pressure, the added cosolvents are easy to then separate from the mixture to be collected and resused.
Another key element in the process is a tiny high-pressure sprayer that sprays the solution on to the silicon wafer to dislodge the photoresist. This mechanism combined with the process of spraying, along with the SCC02 wash itself has produced results that equal the chip production currently accepted in the industry, in that a chip can be produced of equal standard without theuse of harmful chemicals.
"We want to bring this technology to the attention of the computer industry, as well as the public in general, just to emphasize the environmental advantages of SCCO2," says Taylor. "Even if you were to set aside the hazards and pollution associated with the corrosive materials used in chip making, you still have the issue of water use-and that's especially critical in the southwest where several large chip fabrication facilities are located. We believe that the SCCO2 process has the potential to save hundreds of millions of gallons of water every year even if it were installed in just one factory, making it not only a very important technological advance, but an environmental advance, as well."
Lees meer hier bij Beyond 2000.